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相確精密儀器（上海）有限公司

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3D激光共聚焦顯微鏡OLS5000

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LEXTOLS50003D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像

詳細(xì)介紹

LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡有4大關(guān)鍵價(jià)值：

捕捉任意表面形狀。
快速獲得可靠數(shù)據(jù)。
使用簡(jiǎn)單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。
測(cè)量具有挑戰(zhàn)性的樣品。

價(jià)值1：捕捉任意表面形狀。

OLS5000顯微鏡的技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測(cè)量。

價(jià)值2、快速獲得可靠數(shù)據(jù)

該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時(shí)間，簡(jiǎn)化您的工作流程，最終實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。

價(jià)值3、使用簡(jiǎn)單，只需放置樣品并按一下按鈕即可

LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動(dòng)數(shù)據(jù)采集功能，因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測(cè)結(jié)果。

價(jià)值4、可測(cè)量具有挑戰(zhàn)性的樣品

低輸出、非接觸式無損激光測(cè)量意味著不需要樣品制備。可以在不損壞易損性材料的情況下對(duì)其進(jìn)行測(cè)量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品，而超長(zhǎng)工作距離物鏡能夠測(cè)量深度可達(dá)25毫米的凹坑。在測(cè)量這兩類樣品時(shí)，您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可。

[獲取彩色信息]
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測(cè)量樣品的表面不規(guī)則性。

[405納米激光光源]

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長(zhǎng)的減小而獲得提升。采用短波長(zhǎng)激光的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長(zhǎng)激光二極管獲得的橫向分辨率。

[激光共焦光學(xué)系統(tǒng)]

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對(duì)比度更高的圖像

[X-Y掃描儀]

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對(duì)物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

[高度測(cè)量原理]

在測(cè)量高度時(shí)，顯微鏡通過自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點(diǎn)位置（Z）和檢測(cè)光強(qiáng)度（I）可以估算每個(gè)像素的光強(qiáng)變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對(duì)應(yīng)，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對(duì)樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像（擴(kuò)展圖像）。

主機(jī)規(guī)格：

型號(hào)		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
總倍率		54x - 17,280x
視場(chǎng)直徑		16 μm - 5,120 μm
測(cè)量原理	光學(xué)系統(tǒng)	反射式共焦激光掃描激光顯微鏡反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡彩色彩色DIC
測(cè)量原理	光接收元件	激光：光電倍增管（2ch）色彩：CMOS 彩色相機(jī)
高度測(cè)量	顯示分辨率	0.5 納米
	動(dòng)態(tài)范圍	16 位
	可重復(fù)性 n-1 1 2 *6	20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
	精度 1 3 *6	測(cè)量值 +/- 1.5%
	拼接圖像精度 1 4 *6	20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長(zhǎng)度 [μm])
	測(cè)量噪聲（SQ 噪聲）1 5 *6	1 納米
寬度測(cè)量	顯示分辨率	1 納米
	可重復(fù)性 3 n-1 1 6	20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
	精度 1 3 *6	測(cè)量值 +/- 1.5%
	拼接圖像精度 1 3 *6	20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長(zhǎng)度 [μm])
單次測(cè)量時(shí)測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量		4096 x 4096 像素
測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量		3600 萬(wàn)像素
XY 載物臺(tái)配置	長(zhǎng)度測(cè)量模塊	?	無	無	?	無
XY 載物臺(tái)配置	工作范圍	100 x 100 mm 電動(dòng)	100 x 100 mm 手動(dòng)	300 x 300 mm 電動(dòng)	100 x 100 mm 電動(dòng)	100 x 100 mm 手動(dòng)
樣品高度		100 mm	30 mm	30 mm	210 mm	140 mm
激光光源	波長(zhǎng)	405 nm
	輸出	0.95 mW
	激光分類	2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
彩色光源		白光 LED
電氣功率		240 W	240 W	278 W	240 W	240 W
質(zhì)量	顯微鏡主體	約 31 公斤	約 30 公斤	約 50 公斤	約 43 公斤	約 39 公斤
質(zhì)量	控制器	約 12 公斤

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