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廈門華思藍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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AII超高純氣體氧分析儀

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廈門華思藍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

AnalyticalIndustriesInc公司的PI2系列微量氧分析儀，是基于穩(wěn)定且長壽命的Pico-Ion氧傳感器，可準確、穩(wěn)定地測量低至ppt級的氧氣

詳細介紹

Analytical Industries Inc公司的PI2系列微量氧分析儀，是基于穩(wěn)定且長壽命的Pico-Ion氧傳感器，可準確、穩(wěn)定地測量低至ppt級的氧氣。這款高性能氧氣分析儀維護最小，使用成本較低，使預(yù)算有限的客戶能夠輕松、經(jīng)濟地將氧氣測量降低到 ppt 水平。應(yīng)用于質(zhì)檢低溫空氣分離產(chǎn)生的超高純氣體、驗證電子和半導(dǎo)體制造中使用的高純度氣體、調(diào)試超高純氣體管線和流程。

特點：

測量超高純氬氣、氫氣、氮氣、氦氣中的微量氧
檢測下限低于100ppt
低使用成本
易于維護和操作
從過程異常中快速恢復(fù)
標配集成旁路取樣系統(tǒng)
選配自動校準系統(tǒng)

PI2-MS 1000

PI2-MS 500

PI2-UHP 100

PI2-UHP 50

測量范圍

0-1， 0-10， 0-100， 0-1000 ppm

0-0.5， 0-1， 0-10， 0-100， 0-1000 ppm

0-100ppb， 0-1， 0-10， 0-100 ppm

0-50， 0-100 ppb， 0-1， 0-10 ppm

敏感性（LDL）

< 5ppb

< 2.5 ppb

< 250 ppt

<100ppt

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