LCL-13 薄膜測厚儀

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更新時間：2024-02-23 17:38:31瀏覽次數(shù)：166次

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產(chǎn)品簡介

儀器簡介：LCL-13型薄膜測厚儀根據(jù)多次反射光譜相干原理，本儀器可提供非接觸測量薄膜厚度，折射率，吸收系數(shù)等；采用軟件版本，具有納米級精確測量和方便使用等優(yōu)點；測量方便度和準確度遠好于常用光學橢偏儀

詳細介紹

儀器簡介：

LCL-13型薄膜測厚儀根據(jù)多次反射光譜相干原理，本儀器可提供非接觸測量薄膜厚度，折射率，吸收系數(shù)等；采用軟件版本，具有納米級精確測量和方便使用等優(yōu)點；測量方便度和準確度遠好于常用光學橢偏儀。是薄膜研究，光學鍍膜，和半導體生產(chǎn)的測量研究儀器。

實驗內容：

1、學會薄膜和涂層的厚度測量及折射率和吸收系數(shù)的測定

主要配置和參數(shù)：

序號	名稱	規(guī)格和參數(shù)
1	厚度范圍	20nm-50um(只測膜厚），100nm-10um(同時測量膜厚和光學常數(shù)n,k）根據(jù)薄膜材料的種類，其范圍有所不同
2	準確度	<1nm或<0.5%
3	重復性	0.1nm
4	波長范圍	380nm-1000nm
5	可測層數(shù)	1-4層
6	樣品尺寸	樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm
7	測量速度	5s-60s
8	光斑直徑	1.2mm-10mm可調
9	樣品臺	*290mm160mm**
10	光源	長壽命溴鎢燈（2000h）
11	光纖	純石英寬光譜光纖
12	探測器	進口光纖光譜儀
13	電源	AC100V-240V,50Hz-60Hz
14	重量	18kg
15	尺寸	*300mm300mm350mm*